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４

MOSFET のゲート金属の直下は絶縁膜、そして半導体の三層構造となっている。この部分はMOSキャパシタと呼ばれ、絶縁膜が誘電体層として働く平行平板コンデンサをみなせる。
http://fhirose.yz.yamagata-u.ac.jp/img/mos4.pdf

したがって、コンデンサの電極間の距離に容量が反比例するのだから、MOS容量も酸化皮膜の厚さに反比例する。

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